ZEISS MICURA

コンパクトなのにハイパフォーマンス
接触式測定に特化し、公差の厳しい小型精密部品をきわめて精度良く評価できる高精度モデル

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特長

小さなワークピースも高精度に

ZEISS MICURAは、小型部品の接触式測定に特化した高精度三次元座標測定機です。コンパクトなボディに精度向上のための様々な機構やテクノロジを備え、E0, MPE = 0.7+L/400 μmの保証精度を実現しています。また、最小ボール径φ0.3 mmのスタイラスを使用できるため、細部の高精度測定にも対応可能です。(VAST XT goldセンサ搭載時)

アクティブスキャニングセンサ「VAST XT gold」標準搭載

測定力を常に一定、かつワークピース表面に対して法線方向に力が掛かるよう制御する「アクティブスキャニング」が可能な接触式センサ

精度の要である各軸スケールに、熱による伸縮が極めて小さい素材を新採用

熱膨張係数がほぼ0に等しいZerodurⓇ(ゼロデュア)をスケール素材に採用し、環境温度の変化による精度への影響を最小限に抑制

独自のフローティングスケール保持方式

各軸のスケールを、一方をガイドに固定し、もう一方を開放して取り付ける独⾃方式により、温度変化によるガイド伸縮の影響をスケールが受けない構造

エアベアリングによる4方向からの各軸ガイド支持

各軸ガイドを上下左右の4方向からエアベアリングで支持し、駆動時の測定機のねじれを抑制

振動による精度への影響を防止するアクティブダンピングシステム

エア式のアクティブダンピンシステムを標準搭載しており、測定機を常に水平に保ち、床からの振動伝達を低減

ZEISS VASTテクノロジとロータリテーブルで高効率に

測定移動時に変化する力（加速度）によるスタイラスや測定機の変形をリアルタイムに補正できる「VAST Navigator」を標準搭載。高速スキャニング測定時の精度を格段に高めることができ、信頼性の高い測定を短時間で行える優れた技術です。さらに、ロータリテーブルをはじめ、より測定効率を高める様々なオプションをご用意しています。

「VAST Performance」FlyScan機能＆QuickChange機能(オプション)

切り欠き形状部をまるで連続面であるかの如くスキャニング測定できるFlyScan機能と、スタイラス交換動作を測定機の最高速度で行うことのできるQuickChange機能

ロータリテーブル(オプション)

測定機本体の3 軸とロータリテーブルの回転軸を同期する4 軸スキャニング測定により、複雑形状の⾼精度測定、スタイラスコストの削減、スタイラス交換回数減による測定時間の短縮を実現できる一石三鳥のオプション