2019/03 2020/03 2021/03 2022/03 2023/03
半導体製造装置 69,117 56,198 71,745 101,145 112,365
計測機器 32,403 31,728 25,359 29,556 34,436
合計 101,520 87,927 97,105 130,702 146,801

2019/03 2020/03 2021/03 2022/03 2023/03
半導体製造装置 13,195 7,915 13,565 24,698 29,866
計測機器 7,025 4,366 1,996 3,628 4,628
合計 20,221 12,282 15,562 28,327 34,494

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