半導体製造装置のよくある質問
ダイシングマシン
装置内部の汚れが激しい場合には清掃を行ってください。
装置電源をOFFにしてください。
エアー以外の用力の遮断を行ってください。
エアーは遮断させないでください（スピンドル破損の恐れがある為）。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。
各用力を開けてください。
装置電源をONにして正常に立ち上がることをご確認ください。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。
カーフにフォーカスはあっていますか？
フォーカスと照度は適切ですか？
●カーフチェック環境登録からカーフチェック画像の再登録をお願いします。
それでも復旧しない場合には弊社サービスにご連絡をお願い致します。
アライメント（モデル）画像は認識できていますか？
●アライメントの再登録もしくはスパイラル範囲の見直しをお願い致します。
リトライでエラーは解除できますか？
●ハイエアーとロウエアーの流量を確認してください。
新品ブレードでダウンリミットの調整と光学式位置の再調整をお願い致します。
流量はどのくらい流れていますか？
●閾値の確認と流量センサーの清掃をお願い致します。
流量はどのくらい流れていますか？
●閾値の確認と流量センサーの清掃をお願い致します。
I/O画面からマニュアルで操作できますか？
●顕微鏡カバーを外しセンサーの状態を確認してください。
シャッター廻りの清掃をお願い致します。
水漏れ箇所はどこになりますか？
●エラー発生個所に水漏れセンサーの状態を確認してください。
フランジカバー周辺の清掃を行っていますか？
ブレードは破損していませんか？
●切削条件が思わしくないかスピンドルシャフトのとスピンドルキャップの根元にスラッジが溜まっている可能性があるのでフランジを取外し清掃をお願い致します。
テープにしわはありませんか？
テーブルに汚れはありませんか？
●しわがある場合はしわが無いように貼りなおしてください。
テーブルの清掃をお願い致します。