半導体製造装置のよくある質問
エッジグラインディングマシン
装置電源をOFFにしてください。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。
スピンドルエアーを入れた後、スピンドルアームを上げ各スピンドルのシャフトが軽く回るか手で回転させ確認して下さい。
回転が重い場合は手動での回転を続け、なじませてください。
確認せずにいきなりスピンドルを回転させるとシャフトがかじり、故障する恐れがあります。
装置電源をONにして正常に立ち上がることをご確認ください。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。
真空ユニットの排水ラインに詰まりが起きていませんか？
洗浄テーブルにキズ，汚れなどはありませんか？
真空ユニットにて研削テーブル側の排気圧が回り込んでいませんか？
●排水ラインの詰まりを確認してください。
必要に応じてドレンフィルターの交換を行ってください。
洗浄テーブルにキズやゴミ・汚れの付着がないか確認してください。
洗浄テーブルにウェーハを吸着させたまま研削テーブルの吸着をON/OFFさせ、洗浄テーブルの吸着圧に変化があるか確認してください。
真空ユニットの排水ラインに詰まりが起きていませんか？
研削テーブルにキズ，汚れなどはありませんか？
真空ユニットにて研削テーブル側の排気圧が回り込んでいませんか？
●排水ラインの詰まりを確認してください。
必要に応じてドレンフィルターの交換を行ってください。
研削テーブルにキズやゴミ・汚れの付着がないか確認してください。
研削テーブルにウェーハを吸着させたまま洗浄テーブルの吸着をON/OFFさせ、研削テーブルの吸着圧に変化があるか確認してください。
測定センタリング，マスタリングは合っていますか？
●測定センタリング，マスタリングを再度実施してください。
測定センタリングは合っていますか？
芯ずれセンサの位置は適正ですか？
●測定センタリング，マスタリングを実施してください。
芯ずれセンサの確認及び調整を実施してください。
研削センタリングはズレていませんか？
ノッチ中研削位置はズレていませんか？
●研削センタリング及び補正を実施してください。
研削トランスファX軸精度，旋回精度を確認してください。
ノッチ中心位置調整(DEPTH研削)を実施してください。
研削Y軸の動作は正常ですか？
研削センタリングの繰り返し精度は出ていますか？
●研削Y軸のガタ測定を行ってください。
ガタが大きい場合はボールネジの交換が必要です。
弊社サービスにご連絡をお願い致します。
研削センタリングの繰り返し精度が出ているか確認し、出ていない場合は調整を実施してください。ご不明な場合には弊社サービスにご連絡をお願い致します。
研削Z軸の動作は正常ですか？
旧式の研削θ軸モータを10年以上使用していますか？
●研削Z軸停止精度，バックラッシュ，指令値との移動量乖離状況確認してください。弊社サービスにご連絡をお願い致します。
研削θ軸のバックアップベアリング劣化によりシャフトに傾きが発生している可能性があります。
新型の研削θ軸モータへ更新を推奨致します。弊社サービスにご連絡ください
キャディコムのAD補正チェックにて補正値が大きくなっていませんか？
●補正値が大きい場合、キャディコムの交換が必要です。
また、キャディコムは生産中止となっていますので、新型のウェーハ厚さセンサへの置き換えを推奨致します。詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。
測定アームのY軸にガタはありませんか？
測定アーム，測定テーブルの吸着は正常ですか？
測定アームと測定テーブルの受け渡し高さは合っていますか？
●測定アームY軸にガタがある場合、LMガイドの交換が必要となります。
測定アームはゴミなどの詰まりにより、センサーの見た目上はONしていてもちゃんと吸着できていないこともあります。
ウェーハをアームに吸着させ、ウェーハを手で軽く引っ張り、ちゃんと吸着ができているか確認してください。
また、測定テーブルと測定アームの受け渡し高さがズレていると受け渡し時にズレが発生する原因となります。
詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。
研削トランスファX軸にガタが出ていませんか？
研削トランスファ吸着パットの傾きがズレていませんか？
測定テーブル，研削テーブルとの受け渡しギャップは合っていますか？
●研削トランスファのLMガイド，ボールネジが劣化すると、ガタが発生しセンタリングが不安定となります。
停止精度及び、バックラッシュ値の測定を行ってください。
また、吸着パットの傾きやウェーハ受け渡し時のテーブル同士のギャップが適正でないと、ウェーハずれの原因となります。
詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。
砥石やチャックなどを外し、スピンドル単体で回転させても変化はありませんか？
●スピンドル単体にて回転させても異音がする場合はスピンドルの交換が必要です。弊社サービスまでご連絡をお願い致します。