ポリッシュ・グラインダ｜よくある質問

長期電源切る場合の対応を教えてください（年末年始、お盆休み等1週間程度の休止）

スラリー循環ラインの水置換を行ってください。
スピンドルが停止している事を確認し、装置電源をOFFにしてください。
エアー以外の用力の遮断を行ってください。※エアーは遮断させないでください（エアーベアリング破損の恐れがある為）。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

長期電源切り立ち上げる場合の対応を教えてください（年末年始、お盆休み等1週間程度の休止後）

各用力を開けてください。
装置電源をONにして正常に立ち上がることをご確認ください。
スラリーの循環を行ってください。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

ポリッシュ後ソーマーク残りが発生する。

スラリー流量は正常ですか？
ノズルの位置がズレていませんか？
ポリッシュヘッドの加圧を確認をしましたか？
ポリッシュヘッドの直角度を確認しましたか？
コンディショニングブラシを定期的に交換していますか？
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

装置下の床に水漏れがある。

ワークスピンドルから水漏れがありませんか？　　　　　　　　　
INDEXのドレインポートから水漏れがありませんか？　　
研削水のノズル向きは正しい位置ですか？
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

ポリッシュユニットから水漏れが発生した。

R/Jリークポートに水滴の付着はありませんか？
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

ウエハ研削で面焼け（オーバーカレント）が発生する。

研削条件（砥石、レシピ）を変更しましたか？
流量とノズル位置を変更しましたか？
研削角度を変更しましたか？
研削中の電流値は安定していますか？
新しいデバイスですか？
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

オイル漏れがある。

減速機にオイルの付着は有りませんか？
●弊社サービスにご連絡ください。
　メンテナンストレーニングの受講を推奨いたします。

ウエハ吸着圧が上がらない。

バキュームの元圧を確認してください。
各Stのティーチング位置を確認してください。
ハンドの取付、状態（割れ・欠け）を確認してください。
特定のウエハのみで発生しますか？
●弊社サービスにご連絡ください。
　メンテナンストレーニングの受講を推奨いたします。

チャックテーブルの回転エラーが発生する。

実際にチャックは回転していますか？
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

砥石軸スピンドルの回転エラーが発生する。

エラー発生時の回転数はいくつですか？
異音・異常振動ありますか？
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

スラリーフローレスエラーが発生する。

SSUでアラームが発生していませんか？
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

ポリッシュレートが低い。

スラリー流量は正常ですか？
ノズルの位置がズレていませんか？
ポリッシュヘッドの加圧を確認をしましたか？
ポリッシュヘッドの直角度を確認しましたか？
コンディショニングブラシを定期的に交換していますか？
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

装置イニシャルが完了しない。

INDEXの原点センサの状態を確認してください。
汚れている場合は清掃してください。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

NCIGでウエハの厚み測定が行えない。

NCIG光量を確認してください。
レシピのテープ厚と実際のテープ厚は適正か確認してください。
NCIGエアブローを確認してください。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

半導体製造装置のよくある質問