ダイシング
読み方
だいしんぐ
説明
ダイヤモンド・ブレード（砥石）を使ったダイシングを「ブレードダイシング」という。ブレードを高速回転するスピンドルの先端に取り付け、極薄外周刃により、ウェーハを切削、又は切溝を加工する。スピンドル回転数は30000～50000 min⁻¹で加工するのが一般的である。これに対し、レーザを使ったダイシングを「レーザダイシング」という。レーザ光を用いて、非接触で水を使わないドライプロセスが特長で、対象となる材料に対して、レーザ光を使い分けることで、特異的な加工を実現する。