ウェーハ形状認識

うぇーはけいじょうにんしき

ウェーハの外周形状を画像処理装置により認識する機能。破断したウェーハを加工する場合、自動位置決め及び破断形状に合わせた切削ストロークの自動調節することで、無駄な切り代がなく、効率的なダイシングが実現できる、化合物デバイスは、脆く・欠け易い為、本機能が用いられるケースが多い。