半導体製造装置

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トレー搬送

読み方

とれーはんそう

説明

金属製角型治具(ネスト)の上にサブストレート等のワークを載せ、治具ごと搬送させる方式。SEMI規格はなく、ユーザー毎の仕様に特化した運用となる。

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