TD2A-3S/TD1A-S

特殊な中空糸膜を介して純水へ微量のCO2ガスを溶解させ、純水の比抵抗値を制御する装置です。
ワークの静電破壊の防止、微粒子の付着防止を目的として使用します。

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特長

複雑な機構を持たないため、故障が少ない

独自の配管分配方式により、比抵抗値の制御が容易で安定性に優れている
炭酸ガス溶解モジュールで生成した炭酸ガス飽和水と純水との混合比率を調整することにより、純水の比抵抗値の調節ができます。

炭酸ガス給気モジュールの寿命が長い

コンパクト設計のため、ダイシング装置へ内蔵可能
※他オプション次第で外置きタイプへも変更可能です。詳細はお問い合わせください。

ダイシング装置内の比抵抗計により、リアルタイムで純水の比抵抗値をモニタリング可能