製品に関するお問い合わせはこちら
お問い合わせ
特長
-55℃から＋200℃の範囲で安定したウェーハ測定環境をご提供します
当社ウェーハプローバ用チラーのスタンダードモデルです。
-55℃から＋200℃ *1 の範囲でチャック温度の制御が可能です。
一次冷却水不要の空冷式
インバータ制御冷凍機搭載
循環液回収機能
プローバ用パージエア制御機能
*1 プローバ機種に依存
関連製品
