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特長
-55℃から＋200℃の範囲で高速な温度制御と安定したウェーハ測定環境をご提供します
当社ウェーハプローバ用チラーのハイスピードモデルです。
-55℃から＋200℃ *1 の範囲で、高速での温度変更と安定した温度制御が可能です。
一次冷却水不要の空冷式
インバータ制御冷凍機搭載
循環液回収機能
プローバ用パージエア制御機能
*1 プローバ機種に依存
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