Φ450mm
高剛性1軸研削盤
HRG300
最大Φ450mmの枚葉研削加工から、支持基盤に貼り付けた小口径ワークのバッチ研削など様々なアプリケーションに対応します。
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特長
高剛性
三角形状に配置されたスライドガイドの中心位置に加工点を配置し、且つ、インフィードの送り軸を加工点上に配置することにより、研削負荷に対して機械的変形の少ない構造となっています。
加工能率
高剛性が故に、研削ダメージを抑えながら短時間で加工ができます。
低加工コスト
高剛性が故に、適切な自生発刃にて加工ができます。砥石寿命が延びます。
バッチ処理対応IPG搭載
バッチ処理対応のインプロセス・ゲージを搭載し、バッチ処理においてもウェハーの厚みを測りながら加工を行ないます。
ドレスユニット（オプション）
任意に設定された頻度で間欠ドレスを行う事が可能です。
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