HRG300A

全自動高剛性1軸研削盤
最大Φ200mmのフルオート搬送の他、フレームマウントウェーハや最大50mm厚のブール搬送など幅広いアプリケーションに対応。

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特長

最大Φ２００ｍｍまでのウェーハやダイシングフレームマウントされたウェハ、
□３００ｍｍのＰＬＰ基板や最大５０ｍｍ（５ｋｇ）のブールや
バッチ加工など様々な加工ワークの全自動化に対応可能。
HRG300に後付け対応も可能です。