FP3000W

高精度300 ㎜ウェーハ
CSP/WLP/PLP 対応フレーム搬送プロービングマシン

よくある質問サポートメニュー・サポート拠点用語集

製品に関するお問い合わせはこちら

特長

ダイシングフレームに貼り付けられた切断後のウェーハ、基板、PLPを独自開発補正義技術により精度良く測定します。
オプションによりボタン一つでフレームもウェーハも搬送、テストすることができる、まさにAll-in-oneの多彩なプローバです。

フレーム搬送プローバのリリース以降20年以上の経験から蓄積されたアプリケーションにより、補正点数の最適化を実現します。

8/12インチウェーハ搬送兼用機構

8インチフレーム搬送機構

複数バーコード管理

清浄な測定環境を実現するFFU

テストヘッド用ヒンジ型マニピュレータ

高温測定環境

超高倍カラー光学系

高速針跡検査機能

ダイシング済み300 mm角のPLPテスト

最大330mm角のベアPLPテスト