Φ200mm
ディスクリート
パワーデバイス
ロジックデバイス
MEMS
200 mmウェーハ対応高性能プロービングマシン
UF2000
高精度高剛性200mm
プロービングマシン
製品に関するお問い合わせはこちら
お問い合わせ
特長
高剛性、高速動作技術に磨きをかけ、精度とスループットを向上。
多彩なオプションにより、業界標準では定義されていない様々なウェーハテストへの対応を可能にします。
オプション
低温から超高温までの測定環境
テストヘッド用ヒンジ型マニピュレータ
特殊搬送機構による反り・極薄ウェーハ搬送対応
清浄な測定環境を実現するFFU
ローノイズ測定環境
高耐圧測定環境
多彩なネットワーク環境
高速針跡検査機能
関連製品
