Φ200mm
ディスクリート
パワーデバイス
ロジックデバイス
MEMS
200 mmウェーハ対応ディスクリートデバイス用高速プロービングマシン
UF200R/UF190R
ディスクリート向け高速プロービングマシン
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特長
5インチから8インチウェーハを搬送・測定します。(UF200R)
4インチから8インチウェーハを搬送・測定します。(UF190R)
UF2000と同じMMIを採用。
多彩なオプションにより、業界標準では定義されていない様々なウェーハテストへの対応を可能にします。
オプション
低温から高温までの測定環境 （UF190Rは高温のみ）
4インチウェーハ測定環境 （UF200R)
テストヘッド用ヒンジ型マニピュレータ（UF200R)
特殊搬送機構による反り・極薄ウェーハ搬送対応
専用機構によるMEMS搬送
微少電流測定
高耐圧測定
多彩なネットワーク環境
高速針跡検査機能
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