AD20T/S※
※スピンドル搭載仕様 T(TWIN):対向型2軸スピンドル仕様、S(Single)：1軸スピンドル仕様
対向型2軸スピンドル搭載 。ステップカットによる高品質加工、1パスフルカットによる
生産性重視加工の両加工モードに対応します。
特長
・業界最小クラス Φ200mmウエーハ対応 2軸スピンドル搭載セミオートダイシングマシン
セミオートダイサ市場では、1軸スピンドル機が一般的に広く普及しておりますが、
業界に先駆け、2軸スピンドル搭載のセミオートダイサを開発 *¹、市場投入しました。
また、フロアスペースを有効活用し、生産効率を最大限に発揮する為に、斜めレイアウト機構 *²を採用。
省フットプリントでありながら、2軸スピンドルによる高生産性を実現します。
*¹ 2009年6月リリース 自社調べ
*² 特許番号：4478732
・様々な加工要求に対応
ステップカットモードによる高品質加工。1パスフルカットによる生産性重視加工の両加工モードに対応でき、
Siから電子部品まで幅広いデバイス加工に対応出来ます。
・生産性（スループット）の向上
対向型2軸スピンドルデザイン、必要最小限のX軸移動で無駄のない加工を実現
門型構造＋ X、Y、Z 軸のサーボモータ化
省フットプリントと高スループットを両立
高剛性、低振動設計により優れた切削環境を実現
光学式カッタセットユニット（通称：OPC） ２個 標準搭載。同時セットアップによる待機時間の削減
・高性能・高出力スピンドル標準搭載
定格1.8kW, 最高回転数60,000rpm。
定格2.2kW の高トルクスピンドルもオプションで搭載可能。
・操作性
17inchタッチパネル＋GUI（Graphical User Interface）を採用。
アイコン化されたボタンをタッチするだけで簡単操作で快適なオペレーションを実現します。
使い慣れた、AD/SSシリーズと共通の操作体系を搭載。
・ドレスステージオプション搭載
75mm x 75mmのフルサイズドレッシングプレート・コンディショニングプレートを2枚搭載可能*¹
*¹ AD20Tは2枚搭載可能。AD20Sは1枚搭載可能
各スピンドルのブレードを専用のドレッサーでドレスが可能
仕様
| 最大ワークサイズ | Φ200 mm | |
| スピンドル | レイアウト※ | T(TWIN):対向型2軸スピンドル仕様 S(Single):1軸スピンドル仕様 |
| 定格 | 1.8 kW | |
| 最高回転数 | 60000 rpm | |
| X軸 送り速度入力範囲 | 0.1-400 mm/sec | |
| X軸 戻り速度 | 800 mm/sec | |
| Y軸 分解能 | 0.078 μm | |
| Y軸 位置決め精度 | 0.002 mm/260 mm | |
| Z軸 繰り返し精度 | 0.001 mm | |
| Z軸 標準対応ブレード径 | Φ48-60mm | |
| 仕様 寸法（W x D x H） | 790 mm×790 mm×1900 mm | |
| 仕様 質量 | 1100 kg | |
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