AD3000T-HC PLUS

AD3000T-PLUSの設計コンセプトを踏襲。
新たな付加価値として、FOUPカセットによるウエーハ・ハンドリング仕様と、通常カセットによるフレーム・ハンドリング仕様の両プロセスに対応可能です。
ハーフカットからフルカットダイシングまで多様なアプリケーションに本機1台で対応可能です。

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特長仕様ダイシングマシンネットワーク対応（オプション）メンテナンス

特長

・省スペース設計

独自開発した斜めレイアウト設計。通常オペレーションからメンテナンスまで、すべて前面からアクセス可能。
複数台並べて設置する場合、側面のメンテナンスエリアを削減できるため、従来機 4台分の設置スペースに

5台のAD3000T HC-PLUSが設置できます。

・WH（ウエーハ・ハンドリング）/FH（フレーム・ハンドリング）自動切り替え

ウェーハ・ハンドリング仕様とフレーム・ハンドリング仕様をレシピ設定で簡単に自動切り替えをすることが出来ます。
段取り替えの工数削減や、オペレーションミス防止に貢献します。

・FOUP Opener 標準搭載

FOUP 蓋の自動開閉によりウェーハ破損のリスク、ロット処理中の環境汚染のリスクを低減します。

・切削テーブル面内補正機能(Active-Z) 標準搭載

テーブル面内の高さバラツキを補正し、高精度なハイト制御を実現します。
特に、ハーフカットアプリケーションでは、高精度なZハイト制御が必要となりますので、これをサポートします。

・エッジトリミングプロセス標準対応

ウェーハを極薄化する際、ウェーハ外周部は R 形状の影響でエッジチッピングが発生し、そこを起点としたウェーハ割れのリスクが増大します。
エッジトリミングプロセスでは、外周部のR 形状部を予めブレードによって除去することでエッジチッピングの影響を排除することが可能となります。

・生産性（スループット）の向上

対向型2軸スピンドルデザイン、必要最小限のX軸移動で無駄のない加工を実現
X軸速度 1,000mm/sec、Ｙ軸速度 300mm/sec、Ｚ軸速度 80mm/sec
X、Y、Z 軸の全てにサーボモーターを採用、軸速度の高速化
制御ソフトの最適化＋ 3 軸同期制御による加工時間の短縮化を実現
光学式カッタセットユニット（通称：OPC）２個標準搭載。同時セットアップによる待機時間の削減

・操作性

17inchタッチパネル＋GUI （Graphical User Interface）を採用。
アイコン化されたボタンをタッチするだけで簡単操作で快適なオペレーションを実現。
使い慣れた、AD/SSシリーズと共通の操作体系を搭載。

仕様

最大ワークサイズ		Φ 305 mm
最大対応フレーム		12 inch (SEMI G74-0699)
スピンドル	回転数	60,000 rpm
	最大ブレード径	Φ 60 mm (2-Inch)
	定格出力	1.8 KW
X軸	切削可能範囲	310 mm
X軸	最高速度	1000 mm/s
Y1/Y2 軸	切削可能範囲	310 mm
	最高速度	300 mm/s
	制御分解能	0.078 μm
	累積精度	0.002 mm / 310 mm
Z1/Z2 軸	ストローク	34 mm
	分解能	0.002 μm
	最高速度	80 mm/sec
	繰返し精度	0.001 mm
θ軸	回転範囲	380°
諸元	電圧	三相AC200 ～ 220 V ±10％（上記以外はトランスにて対応）
	消費電力	6.0 kVA (MAX)
	エアー供給圧力	0.55 ～ 0.7 MPa
	エアー平均消費量	210 L/min (0.55 MPa 時)
	クリーンエアー平均消費量	140 L/min
	切削水、その他（圧力）	0.3 ～ 0.5 MPa
	切削水、その他（最大流量）	切削水：10.0 L/min ウォーターカーテン：3.0 L/min その他：0.6 L/min
	冷却水（圧力）	0.3 ～ 0.5 MPa
	冷却水（最大流量）	3.4 L/min (0.3 MPa 時)
	排気流量	5.0 m³/ min more
装置寸法（W x D x H）		1290 mm x 1530 mm x 1900 mm
装置重量		1330 kg