セミオート
ブレード
Φ200mm
電子部品
スピンドル Single
厚物基板/難削材対応/Φ200mm対応 セミオートマチックダイシングマシン
SS20PLUS
フルオートダイサと同じ高剛性・門型構造を採用。熱収縮や振動影響を受け難い構造を採用することで、安定した切削環境を提供します。
3-5inchの大口径ブレード対応可能。ガラス、セラミックスなどの硬脆材料や厚いワーク、厚いブレードによる溝入れ等の高負荷加工に対応します。
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特長
スライサー領域の材料加工を簡単操作で実現
硬脆材料や、厚ブレードによる高精度溝入れ加工は、スライサーを選択するケースが多く、アライメントやレシピの設定が複雑で、
熟練工によるオペレーションが必要でした。SS20PLUSは、ブレードダイシングで培った拡張性の高いソフトウエハ機能を標準搭載、
AD/SSシリーズと互換性のある簡単操作で高精度なダイシングをサポートします。
3-5inchブレード対応
3-5inchの大口径ブレードを用いた、硬脆材料や、厚ブレードによる高精度溝入れ加工に最適です。
標準仕様でΦ200mmワークまで対応可能。加工する基板サイズによっては、テーブルサイズのカスタマイズが可能です。
超高出力スピンドル標準搭載
定格2.5kW, 最高回転数30,000rpm
生産性（スループット）の向上
門型構造＋ X、Y、Z 軸のサーボモータ化
省フットプリントと高スループットを両立
操作性
17inchタッチパネル＋GUI （Graphical User Interface）を採用。
アイコン化されたボタンをタッチするだけで簡単操作で快適なオペレーションを実現。
使い慣れた、AD/SSシリーズと共通の操作体系を搭載。
仕様
| 最大ワークサイズ | Φ 200 mm,□ 250 mm |
| スピンドル レイアウト | シングルスピンドル |
| スピンドル 定格 | 2.5 kW |
| スピンドル 最高回転数 | 30,000 rpm |
| X軸 送り速度入力範囲 | 0.1-300 mm/sec |
| X軸 戻り速度 | 800 mm/sec |
| Y軸 分解能 | 0.078 μm |
| Y軸 位置決め精度 | 0.002 mm /260 mm |
| Z軸 繰り返し精度 | 0.001 mm |
| Z軸 標準対応ブレード径 | 選択式： Φ76-110 mm Φ90-130 mm |
| 仕様 寸法（W x D x H） | 890 mm x 1,090 mm x 1,625 mm |
| 仕様 質量 | 832 kg |
メンテナンス
広いアクセスエリアを確保
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